案件詳細

参加資格

Ａ　サステナブルエレクトロニクスプロセス開発装置は、走査型電子顕微鏡、表面形状測定機、クリーンブース、水蒸気・ガス透過度測定装置、高照度VUV光照射装置、スパッタ／ALD装置、太陽電池寿命評価装置、電池サイクル寿命・特性試験システム、３Dスキャナー、アンテナ放射パターン測定システム、ディスペンサ装置、ボンダー装置それぞれを有すること。
Ｂ　走査型電子顕微鏡は、タングステンフィラメントを有し、EDX（EDS）を備え、元素分析が行えること。
Ｃ　表面形状測定機は、通常の測定顕微鏡に加え、レーザー顕微鏡を備え３D形状の測定が可能であること。
Ｄ　クリーンブース（10式）は、HEPAユニットを搭載（面積３x３m以上）したユニットであること。
Ｅ　水蒸気・ガス透過度測定装置は、様々なガス種（水蒸気含む）に対応可能であり、ハイバリア膜の透過度が測定可能であること。
Ｆ　高照度VUV光照射装置（ガスバリア膜用と平坦化膜用の２式）は、ハイパワーXeランプを搭載し、サンプルに均一照射が可能であること
Ｇ　スパッタ／ALD装置は、スパッタリング装置、原子層堆積（ALD）装置、搬送装置を備え、100mm角もしくはそれ以上のサイズの基板上に、窒化膜や酸化物膜等をスパッタリング法により半自動で形成できること、同サイズの基板上にALD膜を形成できること、両成膜装置間でクリーンに基板を搬送できること。
Ｈ　太陽電池寿命評価装置は、１SUN同等の白色光源を有し、16チャンネル以上の太陽電池セル同時測定を可能とした寿命評価装置で、MPPT制御により自動で太陽電池特性の経時変化を測定し評価解析できること。
Ｉ　電池サイクル寿命・特性試験システムは、エネルギーデバイス（二次電池など）の電気化学的特性が高精度で測定可能であり、１～数10デバイスの状態を同時にリアルタイムでモニタリングできること。
Ｊ　３Dスキャナーは、光学式の測定により物体を測定することで立体形状の測長や読み込みができ、読み取ったデータをCADデータに変換できること。
Ｋ　アンテナ放射パターン測定システムは、アンテナパターンの電波放射特性を評価することができ、300MHz～10GHzの特性評価が行えること。
Ｌ　ディスペンサ装置は、塗布可能なステージサイズが200mm×200mm以上で、100μm以下の微細なパターン塗布にも対応できること。
Ｍ　ボンダー装置は、チップ部品を接着材などでアンテナがパターンされた基材に実装できること。

納期

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数量

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履行期間

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履行場所

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予算

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契約担当官

米沢キャンパス長　黒田　充紀

最低制限価格

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